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用于振动测量的电容式传感器
来源:薄膜压力传感器压力分布 | 发布时间:2018/2/17 19:55:34 | 浏览次数:

用于振动测量的电容式传感器

非接触精密电容式传感器特征小,低质量的传感器头和快速的响应时间,所以他们非常适合测量各种高性能的机器,包括精密X-Y阶段,机床振动,高速印刷设备和半导体制造设备。



理想的振动测量应用中,它是不可能的或实用的使用加速度计。

用于半导体制造的精密级,可以在晶片平面上测量级堆叠的振动,而不增加晶片卡盘的质量。

非接触测量精密扫描级结构振动,以确定相对于系统光学的垂直振动效应。在评估扫描系统的结构刚度时,这为设计工程师提供了强有力的诊断工具。

电容式传感器为高性能、主动隔振系统提供伺服系统反馈。

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